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          中欣晶圓大硅片項目竣工投產(chǎn) 加速杭州數(shù)字經(jīng)濟發(fā)展

          來源:浙江新聞 1767 2019-11-25

          ??11月22日上午,杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司半導(dǎo)體大硅片項目(以下簡稱“中欣晶圓大硅片項目”)竣工投產(chǎn)。這對杭州乃至浙江數(shù)字經(jīng)濟發(fā)展而言,都具有重要意義。

          數(shù)字經(jīng)濟是浙江省的一號工程,杭州正在打造“數(shù)字經(jīng)濟第一城”,包括集成電路產(chǎn)業(yè)在內(nèi)的“硬支撐”缺乏,是我省數(shù)字經(jīng)濟的短板。近年來,包括杭州在內(nèi)的我省各地,均在積極補上集成電路產(chǎn)業(yè)制造環(huán)節(jié)的短板。今年前三季度,杭州市集成電路產(chǎn)業(yè)主營業(yè)務(wù)收入177.3億元,同比增長3.9%。

          什么是硅片?

          在業(yè)內(nèi),芯片被比喻為一座微型城市,上面有著長度達(dá)數(shù)公里的導(dǎo)線以及幾千萬甚至上億根晶體管。而硅片,就是讓這些元件“安家落戶”的“地基”。硅片制造對制程技術(shù)、環(huán)境設(shè)備的要求很嚴(yán),且硅片越大要求越嚴(yán)。硅片制造是集成電路產(chǎn)業(yè)制造環(huán)節(jié)的基礎(chǔ)。

          2017年9月,中欣晶圓落戶杭州錢塘新區(qū)。該公司由日本Ferrotec株式會社、杭州大和熱磁電子有限公司及上海申和電子有限公司共同投資成立,致力于打造我國半導(dǎo)體大尺寸硅片生產(chǎn)的“標(biāo)桿工廠”。

          首個項目包括3條8英寸(200毫米)、2條12英寸(300毫米)半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)線。2018年2月,中欣晶圓大硅片項目開工建設(shè);今年6月底,首批8英寸(200毫米)半導(dǎo)體大硅片順利下線,成為杭州制造的第一批大硅片。

          該項目的竣工投產(chǎn),也意味著杭州將在集成電路產(chǎn)業(yè)為全國作出自己的貢獻。

          杭州市經(jīng)信局電子信息產(chǎn)業(yè)處(集成電路產(chǎn)業(yè)處)負(fù)責(zé)人介紹,目前國產(chǎn)半導(dǎo)體硅片大多只能達(dá)到4至6英寸硅片的性能需要,少量能供應(yīng)8英寸市場,但在12英寸硅片領(lǐng)域幾乎是空白。而大硅片在新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域卻有極大應(yīng)用。比如,8英寸硅片多被用于傳感、安防領(lǐng)域以及電動汽車、高鐵等功率器件;12英寸硅片的應(yīng)用主要是邏輯芯片和記憶芯片,用于無人駕駛等領(lǐng)域。

          在清潔無塵的車間里,一枚枚形狀酷似黑膠唱片的硅片在工藝線上有序流轉(zhuǎn),經(jīng)歷倒角、研磨、腐蝕、熱處理、拋光……記者在現(xiàn)場看到,目前,該項目8英寸(200毫米)硅片已進入量產(chǎn)。據(jù)介紹,該項目目前已具備月產(chǎn)8英寸(200毫米)硅片10萬枚的能力,為明年實現(xiàn)月產(chǎn)35萬枚規(guī)模奠定了堅實的基礎(chǔ)。

          記者還了解到,8月23日,該項目首臺12英寸工藝設(shè)備已順利搬入,目前正在進行12英寸(300毫米)硅片產(chǎn)線的調(diào)試,預(yù)計12月底將產(chǎn)出12英寸(300毫米)硅片。到2020年,項目將具備月產(chǎn)10萬枚的產(chǎn)能,2021年具備月產(chǎn)20萬枚的產(chǎn)能。

          中欣晶圓副董事長郭建岳說,今天的儀式標(biāo)志著杭州中欣晶圓大硅片項目由建設(shè)進入試生產(chǎn)直至量產(chǎn)的全新階段,該公司將致力于成為中國半導(dǎo)體大硅片生產(chǎn)的標(biāo)桿基地企業(yè),成為全球半導(dǎo)體硅拋光片的主要供應(yīng)商之一。

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