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          江蘇超芯星推出大尺寸碳化硅單晶襯底材料 走出實現(xiàn)自主可控第一步

          來源:光明日報 3261 2019-11-06

          ??日前,江蘇超芯星半導(dǎo)體有限公司成功推出大尺寸(6-8英寸)碳化硅單晶襯底材料,國內(nèi)首創(chuàng)大尺寸擴徑技術(shù),未來將滿足不同客戶的需求。

          碳化硅是由碳元素和硅元素組成的一種化合物半導(dǎo)體材料,因其禁帶寬度大于2.2eV被稱為寬禁帶半導(dǎo)體材料,在國內(nèi)也稱為第三代半導(dǎo)體材料。作為國家科技發(fā)展的關(guān)鍵領(lǐng)域,碳化硅市場已經(jīng)初具規(guī)模,但襯底材料仍是瓶頸,當(dāng)前碳化硅襯底短缺且昂貴,在整個產(chǎn)業(yè)鏈的成本中占大頭,仍是“卡脖子”問題,是行業(yè)最大的痛點。碳化硅可廣泛應(yīng)用于5G通訊、航空航天、軌道交通、電動汽車、光伏儲能、風(fēng)力發(fā)電、智能電網(wǎng)、高壓輸配電和電能變換、電機控制、節(jié)能建筑等重要國防和民用領(lǐng)域,是推動戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的重要支撐。

          半導(dǎo)體本質(zhì)是一種導(dǎo)電性可受控制、介于絕緣體至導(dǎo)體之間的材料。從半導(dǎo)體材料分為:第一代元素半導(dǎo)體材料,如硅(Si)和鍺(Ge);第二代化合物半導(dǎo)體材料:如砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等;第三代寬禁帶半導(dǎo)體材料,如碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)、氮化鋁(AlN)等。從產(chǎn)業(yè)視角,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是圍繞半導(dǎo)體包括材料、性能、應(yīng)用等發(fā)揮其優(yōu)勢進行科學(xué)研究、技術(shù)開發(fā)、功能設(shè)計、生產(chǎn)制造、集成應(yīng)用與系統(tǒng)實施的全體系的產(chǎn)業(yè)。簡化講,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是基于(半導(dǎo)體)材料的產(chǎn)業(yè)。

          碳化硅是目前最為成熟、商業(yè)前景最明朗的第三代半導(dǎo)體材料,堪稱半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)內(nèi)新一代“黃金賽道”。相比傳統(tǒng)的硅半導(dǎo)體材料,碳化硅擁有3倍的禁帶寬度、3倍的熱導(dǎo)率、10倍的擊穿場強、以及10倍的電子飽和漂移速率。因此用碳化硅制備的器件可實現(xiàn)電力電子系統(tǒng)的小型化、輕量化、高效化和低耗化,被譽為“電力電子器件的綠色核心”。更適用于高溫、高壓、高頻、大功率、光電、抗輻射、微波等電子應(yīng)用領(lǐng)域。

          目前,全球碳化硅襯底主要來自美國Cree和II-VI企業(yè),已實現(xiàn)6英寸碳化硅單晶襯底規(guī)?;慨a(chǎn),并計劃幾年內(nèi)升級為8英寸,大尺寸化趨勢已經(jīng)形成。在碳化硅高質(zhì)量、大尺寸發(fā)展的國際趨勢下,我國企業(yè)積極部署趕超戰(zhàn)略,江蘇超芯星半導(dǎo)體有限公司將自主創(chuàng)新作為企業(yè)牢牢把握的命脈,此次推出的6英寸碳化硅擴徑晶體,走出了為實現(xiàn)我國戰(zhàn)略新興半導(dǎo)體碳化硅材料自主可控的第一步,并將為完成我國十三五規(guī)劃及達(dá)成中國制造2025的目標(biāo)而不懈努力。(光明日報全媒體記者劉欣偉)

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