??薄膜晶體管(Thin-Film Transistors,TFTs)是半導(dǎo)體工業(yè)中最基礎(chǔ)、最重要的三端電子元器件,已在平板顯示、射頻標(biāo)簽等消費類產(chǎn)品中廣泛應(yīng)用。近年來,TFTs在光電探測和光敏神經(jīng)突觸等領(lǐng)域已逐漸引起了人們的重視。與傳統(tǒng)兩端器件相比,光電TFTs具有以下突出優(yōu)勢:利用TFTs的柵壓控制自由度可實現(xiàn)信號檢測與放大的一體化,有利于后期電路設(shè)計的簡化和降低系統(tǒng)功耗;光電探測TFTs和傳統(tǒng)電功能(開關(guān)、驅(qū)動、選址等)TFTs具有一脈相承的結(jié)構(gòu)和工藝兼容性,易于集成(甚至像素化集成),有利于提高系統(tǒng)設(shè)計的靈活度。
紫外光電探測器在國防領(lǐng)域、電網(wǎng)安全監(jiān)測、醫(yī)學(xué)成像、海上搜救、環(huán)境與生化檢測、森林火災(zāi)告警等諸多領(lǐng)域有重要應(yīng)用,是世界各國競相研發(fā)的焦點。近年來,中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所曹鴻濤研究團隊通過在耗盡型的SnOx/IGZO薄膜晶體管背溝道表面修飾p型PEDOT:PSS薄膜,實現(xiàn)了兩端和三端器件的耦合,構(gòu)建了高性能可見盲紫外光電探測TFTs。由于充分利用了兩端(垂直方向內(nèi)建電場,分離電荷)和三端器件(側(cè)向源漏電場,收集電荷)的優(yōu)勢,器件的光電響應(yīng)和光敏性均得到了顯著的提高。上述成果發(fā)表于ACS Appl. Mater. Interfaces 2018, 10, 8102-8109。
此外,“人工智能(AI)”已經(jīng)成為全球的研究熱點之一,而突觸是基于器件層面構(gòu)建人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的重要基礎(chǔ)工具之一。團隊在前期研究的耦合器件工作基礎(chǔ)之上,構(gòu)建了高靈敏、低功耗模擬視覺神經(jīng)突觸的光電子器件,器件工作在可見光和紫外光區(qū),具有長程、短程可塑性,并具有選擇性記憶和遺忘功能。對信號強度低至1μW/cm2的藍(lán)色光脈沖具有響應(yīng)性,單個器件電學(xué)功耗小于10pW,并可實現(xiàn)光寫入、電擦除功能。利用高k柵介質(zhì)可進一步降低工作電壓這一思路,團隊還構(gòu)建了全透明的可見光響應(yīng)的光敏神經(jīng)突觸器件,器件可對弱光響應(yīng),且能耗更低。上述成果發(fā)表于Nano Energy 2019, 62,772-780。
上述工作得到國家自然科學(xué)基金、中科院國際合作重點項目、寧波市科技創(chuàng)新團隊以及寧波市自然科學(xué)基金等的資助。
圖2 光敏神經(jīng)突觸器件用于視覺模擬的示意性方案及耦合器件在長程、短程可塑性和寬光譜響應(yīng)方面的性能展示
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