顆粒在線訊：上海，2021年9月28日——特殊化學品公司朗盛升級了其用于電子行業(yè)除氧應用的Lewatit K 7333離子交換樹脂。現(xiàn)在，改進的聚合物基質(zhì)與改性的配方相結(jié)合，可以生產(chǎn)出純度最高的摻鈀強堿性陰離子交換劑，該產(chǎn)品可用于生產(chǎn)半導體制造和晶圓拋光工藝所需的超純水（UPW）。在這一領(lǐng)域，只能使用經(jīng)過特殊凈化的離子交換劑來生產(chǎn)純度極高的水。

作為離子交換樹脂的領(lǐng)先制造商之一，朗盛致力于通過這種新型產(chǎn)品在電子行業(yè)獲得更多客戶，并鞏固其市場地位。

面向開拓性應用升級成功產(chǎn)品

近年來，離子交換劑已成功用于催化去除工藝水中的氧氣?！昂跛鹘?jīng)載有Lewatit K 7333的過濾器。在逆流中，氫氣通過過濾器。摻鈀離子交換劑在這里起到催化劑的作用。在‘冷燃燒’過程中，氫氣和氧氣反應生成水?！崩适⒁后w凈化技術(shù)（LPT）業(yè)務部技術(shù)營銷經(jīng)理Hans-Jürgen Wedemeyer介紹道。

Lewatit K 7333的另一個應用是在沒有氫氣的情況下催化去除H2O2（過氧化氫）。這項技術(shù)越來越多地用于生產(chǎn)超純水。以這種方式生產(chǎn)的質(zhì)量更高的超純水目前的需求量比較大，因為對于半導體行業(yè)中越來越小的模塊間隔，殘留離子含量被限定在ppt/ppq范圍內(nèi)。理想情況下，TOC（總有機碳）含量應處于檢測限?！半S著模塊的增強和完善，對水的純度要求越來越嚴格，這意味著大幅減少納米范圍內(nèi)的顆粒數(shù)量越來越重要?！盬edemeyer說道。

為了達到這些非常低的值，需要使用特殊的紫外燈。這種燈可以氧化水中的任何殘留有機物，產(chǎn)生CO2。然后，離子交換劑吸收CO2，將其轉(zhuǎn)化為碳酸氫鹽。紫外燈處理過程中的一個副作用是會形成過氧化氫（輻解），損壞下游的離子交換劑。這將增加TOC，并在下游離子交換劑中形成顆粒。摻鈀Lewatit K 7333可將輻解形成的過氧化氫降至低ppt范圍，離子交換劑本身只會造成非常小的TOC、顆?；驓埩綦x子污染。

“這項技術(shù)已經(jīng)用于許多新工廠，并且正在現(xiàn)有工廠中進行改進。因此，我們預計對Lewatit K 7333離子交換劑的需求量會增加，以便我們滿足半導體行業(yè)對水純度日益嚴格的要求?！盬edemeyer說道。

電子行業(yè)濕化學法必不可少的物質(zhì)——離子交換劑

在微電子元件和納米電子元件生產(chǎn)中，對于光刻涉及的晶圓加工或復雜的濕化學法而言，超純水是不可或缺的成分。上述工藝用于制造半導體組件，例如計算機處理器、存儲芯片、發(fā)光二極管（LED）、液晶（LC）和LED顯示器以及光伏模塊。超純水還用于微系統(tǒng)技術(shù)，該技術(shù)用于制造和加工微泵、微電機和微閥所需的微型機械部件。超純水是防止或去除精密結(jié)構(gòu)中小至納米級的沉積物或雜質(zhì)的重要先決條件，這些物質(zhì)如果不去除，會導致生產(chǎn)故障和極高的廢品率?！半S著電子元件的尺寸越來越小，對超純水的質(zhì)量要求也在不斷提升?！盬edemeyer表示。