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          SCMs | 卷對卷化學(xué)氣相沉積法制備石墨烯

          來源:石墨烯聯(lián)盟 1787 2021-12-01

          顆粒在線訊:批到批(B2B)和卷到卷(R2R)工藝均可用于石墨烯薄膜的大規(guī)模生產(chǎn)。由于設(shè)備簡單,B2B工藝在實(shí)驗(yàn)室研究中非常普遍。相對而言,R2R工藝更容易自動化,并且與隨后的轉(zhuǎn)移過程更兼容,因此在工業(yè)上更受青睞。目前,對R2R工藝的研究主要集中在反應(yīng)器設(shè)計或裝料結(jié)構(gòu)等方面,對石墨烯生長動力學(xué)缺乏深入的了解。

          卷對卷化學(xué)氣相沉積法制備石墨烯

          近日,電子科技大學(xué)李雪松教授等人在SCIENCE CHINA Materials發(fā)表研究論文,通過研究石墨烯的生長演化過程,發(fā)現(xiàn)在相同的反應(yīng)參數(shù)下,R2R工藝的石墨烯晶疇密度大于B2B工藝的石墨烯疇密度,其原因歸結(jié)于兩種工藝不同的反應(yīng)過程;而通過延長反應(yīng)時間,可以對石墨烯薄膜的缺陷進(jìn)行修復(fù)。在優(yōu)化的R2R工藝下,可以獲得與常規(guī)B2B工藝相當(dāng)?shù)母哔|(zhì)量石墨烯薄膜。

          圖1 不同流速下,石墨烯的生長演化過程

          圖1 不同流速下,石墨烯的生長演化過程。

          本工作可促進(jìn)石墨烯薄膜制備技術(shù)的發(fā)展。

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