由中國化工黎明化工研究設計院（以下簡稱黎明院）承擔的國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”子項目“高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試”日前通過國家重大專項項目組的測試與評審，標志著我國極大規(guī)模集成電路行業(yè)所需高純度含氟電子氣體實現國產化。

集成電路是信息社會的根基，其制造技術代表著當今世界微細制造的最高水平。隨著我國信息化進程的加快，對集成電路產品的需求持續(xù)快速增長。為實現自主創(chuàng)新發(fā)展，我國于2008年啟動實施集成電路專項，以推動產業(yè)應用為目標，通過市場機制打通科技與經濟的連接通道，建立以企業(yè)為主體，高校和科研院所大協作，科技、產業(yè)、金融與區(qū)域經濟有效協同的新模式。

高純度含氟電子氣體是極大規(guī)模集成電路行業(yè)必需的清洗和蝕刻氣體，在芯片制作過程中保障極大規(guī)模集成電路的生成，確保電路有效發(fā)揮作用。隨著極大規(guī)模集成電路技術的提升，芯片制程向14納米甚至7納米邁進，對電子氣體的純度要求越來越高。

黎明院于2013年開始“高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試”的課題研究，借助國家科技重大專項平臺，潛心攻關，在多項關鍵技術上取得突破。其中高純度四氟化碳和六氟化硫制備過程中微量雜質的純化、分析等技術難題得以攻克，制備出的產品純度達99.999％，推廣使用后取得了良好的市場效果。此外，該項目在知識產權指標、人才建設、產業(yè)化指標和經費使用等多個維度也達到立項要求。黎明院也由此進一步加快了科技創(chuàng)新和產業(yè)化發(fā)展步伐，成功實現由工業(yè)級向高純級、多品種等高性能、高附加值產品的轉型升級和結構調整。

目前，黎明院高純四氟化碳和六氟化硫的年產能可達2000噸，價格與進口同類產品相當，但性價比高，可完全實現對進口產品的替代。