??11月22日上午，杭州中欣晶圓半導體股份有限公司半導體大硅片項目（以下簡稱“中欣晶圓大硅片項目”）竣工投產(chǎn)。這對杭州乃至浙江數(shù)字經(jīng)濟發(fā)展而言，都具有重要意義。

數(shù)字經(jīng)濟是浙江省的一號工程，杭州正在打造“數(shù)字經(jīng)濟第一城”，包括集成電路產(chǎn)業(yè)在內(nèi)的“硬支撐”缺乏，是我省數(shù)字經(jīng)濟的短板。近年來，包括杭州在內(nèi)的我省各地，均在積極補上集成電路產(chǎn)業(yè)制造環(huán)節(jié)的短板。今年前三季度，杭州市集成電路產(chǎn)業(yè)主營業(yè)務收入177.3億元，同比增長3.9%。

什么是硅片？

在業(yè)內(nèi)，芯片被比喻為一座微型城市，上面有著長度達數(shù)公里的導線以及幾千萬甚至上億根晶體管。而硅片，就是讓這些元件“安家落戶”的“地基”。硅片制造對制程技術(shù)、環(huán)境設備的要求很嚴，且硅片越大要求越嚴。硅片制造是集成電路產(chǎn)業(yè)制造環(huán)節(jié)的基礎。

2017年9月，中欣晶圓落戶杭州錢塘新區(qū)。該公司由日本Ferrotec株式會社、杭州大和熱磁電子有限公司及上海申和電子有限公司共同投資成立，致力于打造我國半導體大尺寸硅片生產(chǎn)的“標桿工廠”。

首個項目包括3條8英寸（200毫米）、2條12英寸（300毫米）半導體硅片生產(chǎn)線。2018年2月，中欣晶圓大硅片項目開工建設；今年6月底，首批8英寸（200毫米）半導體大硅片順利下線，成為杭州制造的第一批大硅片。

該項目的竣工投產(chǎn)，也意味著杭州將在集成電路產(chǎn)業(yè)為全國作出自己的貢獻。

杭州市經(jīng)信局電子信息產(chǎn)業(yè)處（集成電路產(chǎn)業(yè)處）負責人介紹，目前國產(chǎn)半導體硅片大多只能達到4至6英寸硅片的性能需要，少量能供應8英寸市場，但在12英寸硅片領域幾乎是空白。而大硅片在新興產(chǎn)業(yè)領域卻有極大應用。比如，8英寸硅片多被用于傳感、安防領域以及電動汽車、高鐵等功率器件；12英寸硅片的應用主要是邏輯芯片和記憶芯片，用于無人駕駛等領域。

在清潔無塵的車間里，一枚枚形狀酷似黑膠唱片的硅片在工藝線上有序流轉(zhuǎn)，經(jīng)歷倒角、研磨、腐蝕、熱處理、拋光……記者在現(xiàn)場看到，目前，該項目8英寸（200毫米）硅片已進入量產(chǎn)。據(jù)介紹，該項目目前已具備月產(chǎn)8英寸（200毫米）硅片10萬枚的能力，為明年實現(xiàn)月產(chǎn)35萬枚規(guī)模奠定了堅實的基礎。

記者還了解到，8月23日，該項目首臺12英寸工藝設備已順利搬入，目前正在進行12英寸（300毫米）硅片產(chǎn)線的調(diào)試，預計12月底將產(chǎn)出12英寸（300毫米）硅片。到2020年，項目將具備月產(chǎn)10萬枚的產(chǎn)能，2021年具備月產(chǎn)20萬枚的產(chǎn)能。

中欣晶圓副董事長郭建岳說，今天的儀式標志著杭州中欣晶圓大硅片項目由建設進入試生產(chǎn)直至量產(chǎn)的全新階段，該公司將致力于成為中國半導體大硅片生產(chǎn)的標桿基地企業(yè)，成為全球半導體硅拋光片的主要供應商之一。