“是的。‘冰絲帶’項(xiàng)目最大難點(diǎn)在于同時(shí)滿足可見光的高透性和好的熱加工性能，我們特制的雙銀可鋼的Low-E玻璃用了你們的靶材達(dá)到了上述的效果。Low-E玻璃表面的鍍膜層具有對(duì)可見光高透過(guò)及對(duì)紅外線高反射的特性，具有優(yōu)異的建筑節(jié)能效果和良好的透光性，國(guó)內(nèi)能開發(fā)出這樣靶材的公司寥寥無(wú)幾。

“你們說(shuō)話是最靠譜的，技術(shù)是最過(guò)硬的?！?/span>

“好材料如同千里馬，好技術(shù)如同好騎手。強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合。”

……

每次收到客戶的認(rèn)可，中國(guó)科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所（以下簡(jiǎn)稱寧波材料所）研究員楊曄總會(huì)仔細(xì)地保存下來(lái)，對(duì)他來(lái)說(shuō)這些認(rèn)可不遜于在實(shí)驗(yàn)室里的新發(fā)現(xiàn)。

這些年從事成果轉(zhuǎn)化工作，讓楊曄從實(shí)驗(yàn)室里少言寡語(yǔ)的科研人員轉(zhuǎn)變?yōu)榧夹g(shù)型談判專家，他告訴《中國(guó)科學(xué)報(bào)》：“我現(xiàn)在花不少精力協(xié)助銷售團(tuán)隊(duì)做市場(chǎng)和銷售，但技術(shù)仍是我與客戶溝通的橋梁，先讓客戶認(rèn)可我們的技術(shù)，然后認(rèn)可我們的團(tuán)隊(duì)，進(jìn)而把訂單交給我們?！?/span>

小而美、小而精的材料

5月30日，記者來(lái)到寧波材料所高性能氧化鋅磁控濺射靶材產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目基地，看到一根根空心圓柱狀的鍍膜靶材，井然有序地?cái)[在生產(chǎn)靶材的車間。楊曄向記者介紹道：“靶材支撐下游千億規(guī)模的產(chǎn)業(yè)?！?/span>

根據(jù)中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)數(shù)據(jù)顯示，2016年全球高純?yōu)R射靶材市場(chǎng)規(guī)模約113.6億美元，其中平板顯示（含觸控屏）用靶材38.1億美元、半導(dǎo)體用靶材11.9億美元、太陽(yáng)能電池用靶材23.4億美元、記錄媒體靶材33.5億美元。到2020年，全球高純?yōu)R射靶材市場(chǎng)規(guī)模將超過(guò)160億美元，年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)13%。

近年來(lái)，磁控濺射靶材是國(guó)家鼓勵(lì)和發(fā)展的新材料產(chǎn)業(yè)。此前，一方面，由于我國(guó)高端靶材一直受制于人，存在產(chǎn)業(yè)安全的隱患，急需破解高致密度、高純度、摻雜均勻、晶粒細(xì)小均勻、高電導(dǎo)率、高綁定率靶材的制備技術(shù)難題；另一方面，靶材行業(yè)缺乏理解、引領(lǐng)客戶需求且懂新材料應(yīng)用的專業(yè)化研發(fā)支撐隊(duì)伍。

楊曄指著地上一粗一薄兩個(gè)靶材樣品，考起了記者：“厚的是我們要交給客戶的產(chǎn)品，薄的是客戶使用完退還我們重復(fù)加工的靶材，靶材之所以從厚變薄，消失的材料去哪里了呢？”

隨后，楊曄解釋道，磁控濺射的工作原理簡(jiǎn)單說(shuō)就是利用磁場(chǎng)與電場(chǎng)交互作用，氬離子轟擊靶材表面，同時(shí)也把動(dòng)能傳導(dǎo)進(jìn)去，隨后靶材表面的原子就被轟擊出來(lái)，從不同角度飛向基片，在其表面凝集沉積形成一層薄膜。

“這層薄膜非常薄，往往都在納米量級(jí)，是人類肉眼看不見的，而一支10毫米厚的靶材所鍍的薄膜面積可達(dá)幾萬(wàn)甚至十幾萬(wàn)平方米，鍍膜后產(chǎn)生的價(jià)值遠(yuǎn)超過(guò)靶材本身的價(jià)值，靶材起的作用非常關(guān)鍵，所以我常將靶材稱為小而美、小而精的材料。”楊曄說(shuō)，“別小看這些薄膜材料，它們是很多功能器件得以大顯神威的核心材料?！?/span>

從0到1，從1到100

2006年，楊曄博士畢業(yè)后來(lái)到寧波材料所工作，在研究員宋偉杰的帶領(lǐng)下組建團(tuán)隊(duì)，開始從事氧化鋅磁控濺射靶材的研發(fā)。他回憶道：“我們花了5年時(shí)間成功研制出大尺寸高性能氧化鋅平面靶材。”

2012年，楊曄所在的科研團(tuán)隊(duì)掌握了氧化鋅平面靶材批量制備技術(shù)，開始尋求產(chǎn)業(yè)化的出路?！拔覀?cè)趯?shí)驗(yàn)室完成了從0到1的過(guò)程，這是一個(gè)從無(wú)到有的過(guò)程，固然令人興奮，但從1到100則需要實(shí)現(xiàn)從科研到產(chǎn)業(yè)化的跨越，還有很長(zhǎng)一段路需要堅(jiān)持走下去。

于是，由寧波材料所參與共建的寧波森利電子材料有限公司于2014年成立，公司很快就建成了一條氧化鋅靶材中試生產(chǎn)線，推動(dòng)實(shí)驗(yàn)科研成果實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)化。

楊曄告訴記者：“在實(shí)驗(yàn)室里，我們不僅突破了多項(xiàng)技術(shù)難點(diǎn)，還研制出第一塊2英寸的磁控濺射靶材，在中試階段，我們先后解決了從小尺寸到大尺寸、從小規(guī)模到大規(guī)模、工藝從復(fù)雜到簡(jiǎn)單以及如何提升生產(chǎn)效率等一系列的問(wèn)題?！?/span>

這期間，寧波材料所高性能氧化鋅磁控濺射靶材產(chǎn)業(yè)化團(tuán)隊(duì)還先后參加了多個(gè)創(chuàng)業(yè)大賽，引起寧波地方政府的高度關(guān)注，并得到了相關(guān)產(chǎn)業(yè)化的支持，最終促成了寧波森利電子材料有限公司的成立。

面對(duì)客戶的需求，團(tuán)隊(duì)開始了技術(shù)革新。2016年，團(tuán)隊(duì)建成一條氧化鋅旋轉(zhuǎn)靶材生產(chǎn)線，這時(shí)候靶材也從片狀變成記者所見到的圓柱狀。“旋轉(zhuǎn)靶材比片狀靶材濺射更均勻，也提升了鍍膜的生產(chǎn)效率?！睏顣舷蛴浾呓忉屃税胁男螤钭兓母?。

贏得國(guó)內(nèi)外客戶青睞

截至2019年5月，有一家客戶使用寧波森利電子材料有限公司多批次靶材累計(jì)鍍膜面積600萬(wàn)平方米、相關(guān)鍍膜產(chǎn)品銷售額超2億元，取得了良好的經(jīng)濟(jì)效益。

“我一開始都不知道怎么跟客戶交流?！睏顣先缃袢杂浀米约鹤铋_始跑業(yè)務(wù)時(shí)的窘境，“那就聊技術(shù)吧，技術(shù)我在行，企業(yè)也能聽懂，一來(lái)二去就會(huì)要求試用樣品，用一陣子就會(huì)直接下訂單?！?/span>

2018年，高性能氧化鋅磁控濺射靶材產(chǎn)業(yè)化團(tuán)隊(duì)得到中科院STS雙創(chuàng)項(xiàng)目支撐?！耙苍S公司無(wú)人知曉，但寧波材料所、中科院，業(yè)內(nèi)都知道，我們也算是有‘后臺(tái)’的?！睏顣闲χf(shuō)道，從2015年以來(lái)，寧波森利電子材料有限公司銷售平均增長(zhǎng)超過(guò)500%，不僅成為多家國(guó)內(nèi)客戶的供應(yīng)商，如臺(tái)玻集團(tuán)、福耀集團(tuán)、南玻集團(tuán)，產(chǎn)品還銷往海外市場(chǎng)。

然而，這一切背后都離不開科研團(tuán)隊(duì)有力的技術(shù)支撐和扎實(shí)的技術(shù)攻關(guān)。在宋偉杰的帶領(lǐng)下，團(tuán)隊(duì)還針對(duì)下游鍍膜客戶所面臨的難題開展技術(shù)攻關(guān)，從材料設(shè)計(jì)、鍍膜工藝、測(cè)試表征等方面提出相應(yīng)的解決方案。

“團(tuán)隊(duì)上下都非常給力，公司利用他們提供的詳實(shí)數(shù)據(jù)與客戶對(duì)話，贏得了客戶們的信任，有力地支撐了公司的產(chǎn)品銷售?！眻F(tuán)隊(duì)成員之一蘭品軍于2014年受寧波材料所委派，進(jìn)入寧波森利電子材料有限公司，開展氧化鋅磁控濺射靶材的產(chǎn)業(yè)化工作。

“由于客戶鍍膜產(chǎn)線的設(shè)備更新，旋轉(zhuǎn)靶材逐漸替代平面靶材成為一種趨勢(shì)，因此能否在較短的時(shí)間里盡快開發(fā)出旋轉(zhuǎn)靶材關(guān)乎公司的生死存亡。這項(xiàng)重任就落到了蘭品軍身上。”楊曄覺得蘭品軍是一位非常敬業(yè)的技術(shù)人員，“在研發(fā)過(guò)程中，由于靶材加工周期比較長(zhǎng)，為了確定新的參數(shù)，他經(jīng)常加班到凌晨?jī)扇c(diǎn)才回家，帶領(lǐng)工人一起徹底解決了許多‘卡脖子’的工藝問(wèn)題?！?/span>

正是有這樣一群執(zhí)著的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，公司已經(jīng)建成了三大生產(chǎn)線：粉末冶金產(chǎn)線、等離子熱噴涂產(chǎn)線、靶材綁定產(chǎn)線。楊曄介紹，未來(lái)團(tuán)隊(duì)還將利用前期技術(shù)積累，研制面向光電類器件應(yīng)用的多種新型氧化物靶材，進(jìn)一步支撐下游鍍膜產(chǎn)業(yè)發(fā)展。