?? 2018年,國內(nèi)半導(dǎo)體材料在各方共同努力下,部分領(lǐng)域取得了成績可喜,但中高端領(lǐng)域用關(guān)鍵材料本土化上進(jìn)展緩慢,取得的突破較少。據(jù)jssia調(diào)研整理:2018年中國集成電路材料市場銷售收入為793.95億元,同比增長11.6%,如圖所示。
2018年中國集成電路晶圓制造業(yè)材料市場規(guī)模為407.8億元,同比增長11.8%;中國集成電路封裝材料市場規(guī)模為386.15億元,同比增長11.47%。據(jù)國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(SEMI)報道:2018年世界半導(dǎo)體材料市場營收額為515.2億美元,同比增長9.85%。其中,IC晶圓制造材料市場營收額為311億美元,同比增長12%,占材料市場總值的 60.4 %;封裝材料市場營收額為204.2億美元,同比增長6.9%,占材料市場總值的39.6%,見表。根據(jù)Gartner的數(shù)據(jù),預(yù)計到2020年,全球硅片市場規(guī)模將達(dá)110億美元。全球前5家硅片生產(chǎn)商(日本信越、日本SUMCO、中國臺灣Global Wafer、德國Siltronic和韓國LG Siltron)占據(jù)硅片市場94%的份額,在12英寸硅片領(lǐng)域,前五家廠商更是將這一數(shù)字提高到了97.8%。
2010—2018年中國集成電路材料市場統(tǒng)計情況見表。
2018年中國集成電路材料業(yè)技術(shù)進(jìn)展情況
上海新昇已實現(xiàn)12英寸硅片量產(chǎn),2018年底產(chǎn)能為6萬片/月。
浙江金瑞泓具備8英寸硅片12萬片/月的產(chǎn)業(yè)化能力,掌握了12英寸硅片核心技術(shù)。
天津中環(huán)8英寸區(qū)熔硅片實現(xiàn)量產(chǎn),12英寸晶體部分進(jìn)入工藝評價階段。
江豐電子超高純金屬濺射靶材產(chǎn)品已應(yīng)用于國際先進(jìn)制造工藝,16nm節(jié)點實現(xiàn)批量供貨,滿足國內(nèi)廠商28nm節(jié)點的量產(chǎn)需求。
晶瑞股份產(chǎn)品包含紫外負(fù)型光刻膠和寬譜正膠及部分g線、i線正膠等高端產(chǎn)品,在國內(nèi)率先實現(xiàn)i線光刻膠量產(chǎn)。
中船重工718所研發(fā)生產(chǎn)四氟化硅、六氟乙烷、八氟丙烷、八氟環(huán)丁烷、氟化氫等9種高純氣體及10種混合氣體實現(xiàn)量產(chǎn),其中:三氟化氮、六氟化鎢打破國外壟斷。
江化微電子生產(chǎn)超凈高純試劑包括酸堿類試劑、蝕刻類試劑和溶劑,大部分可達(dá)VL級和SL級。其中,VL級等同于美國SEME C7標(biāo)準(zhǔn);SL級等同于美國SEME C8級標(biāo)準(zhǔn)。
鼎龍股份生產(chǎn)CMP拋光墊產(chǎn)品已獲客戶認(rèn)證訂單,公司在28nm以下先進(jìn)制程領(lǐng)域也有研發(fā)布局,打破外資壟斷。
文章來源:集成電路園地
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