??每一種粒度測(cè)量方法都是測(cè)量不同基準(zhǔn)下顆粒的某一物理特性,可以根據(jù)多種不同的方法得到不同的平均結(jié)果(如個(gè)數(shù)基準(zhǔn)下D[4,3],D[3,2] 等),但是究竟該用哪種平均徑呢?
舉一個(gè)簡(jiǎn)單的例子,兩個(gè)直徑分別為1和10的球體,對(duì)冶金行業(yè),如果計(jì)算簡(jiǎn)單的個(gè)數(shù)平均直徑,得到的結(jié)果是:D[1,0]=(1+10)/2=5.5。
但是如果感興趣的是物質(zhì)的質(zhì)量,而質(zhì)量是直徑的三次函數(shù),這樣,直徑為1的球體的質(zhì)量為1,直徑為10的球體的質(zhì)量為1000。
也就是說,大球體占系統(tǒng)總質(zhì)量的99.9%。在冶金上即使舍去粒徑為1的球體,也只會(huì)損失總質(zhì)量的0.1%。
因此,簡(jiǎn)單的個(gè)數(shù)平均不能精確反映系統(tǒng)的質(zhì)量,而用D[4,3]能更好地反映顆粒的平均質(zhì)量。
在上述兩個(gè)球體的例子中,質(zhì)量矩體積平均徑計(jì)算如下:
該值能比較充分地表示系統(tǒng)的質(zhì)量,對(duì)某些行業(yè)非常重要。
但是對(duì)于一間制造大規(guī)模集成電路的潔凈房間來說,顆粒的數(shù)量或濃度就是最重要的了,因?yàn)槿粲幸粋€(gè)顆粒落在硅片上,就將會(huì)產(chǎn)生一個(gè)疵點(diǎn),產(chǎn)品就可能報(bào)廢。
這時(shí)需要采用一種能直接測(cè)量顆粒的數(shù)量或濃度的方法。
對(duì)于顆粒計(jì)數(shù)來說,記錄下顆粒個(gè)數(shù)就可以了,在此場(chǎng)合顆粒的大小反而顯得不重要了。
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